半导体参数测量仪

可实现对半导体器件和晶圆从基础电流－电压（I-V）表征到最佳快速脉冲 IV 测试的全方位测量。配备MPI半自动探针台 MPI TS2000-SE。支持 IV 测试，可连接探针台测试。具有超高分辨率模块，电流测试精度达到1fA，能够进行IVT测试，测试间隔100μs-65.535s。