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大束流离子注入机

大束流离子注入机

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制造国 日本
设备生成厂家 爱发科
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用于碳化硅功率器件芯片制造中高温离子注入选区掺杂工艺。可兼容100mm和150mm（4寸和6寸）尺寸晶圆。

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