车规级功率器件对碳化硅氮化镓外延片有什么要求？

　　车规级功率器件所用碳化硅氮化镓外延片，必须满足晶体质量、电学参数、SEMI 行业标准、AEC-Q101 认证、批次一致性、全流程可追溯六大硬性要求，门槛远高于普通工业级。安徽进步半导体车规级碳化硅氮化镓外延片完全对标 SEMI G35 标准，已通过 AEC-Q101 全套可靠性认证，可直接用于新能源汽车车载功率器件批量量产。

　　一、晶体质量硬性要求

　　位错密度≤5×10⁶/cm²，无微管缺陷;

　　XRD 摇摆曲线半峰宽低，晶体完整性高;

　　表面粗糙度低，无明显划痕、颗粒、层错缺陷。

　　二、电学性能要求

　　耐压稳定 1200V 及以上，漏电极低、高温下不漂移;

　　二维电子气浓度、迁移率均匀性高，批次偏差小;

　　方块电阻片内、批次一致性强，适配大规模量产良率稳定。

　　三、标准与认证要求

　　符合 SEMI G35 碳化硅氮化镓外延片国际标准;

　　器件端必须通过AEC-Q101 车规分立器件可靠性认证;

　　生产体系符合 IATF16949 汽车供应链管控规范。

　　四、工艺与管控要求

　　全流程批次可追溯，原材料、工艺、检测数据完整存档;

　　可承受高低温循环、高温反偏、湿热老化、功率循环等严苛可靠性测试;

　　支持小批量试样、大批量稳定供货，交期可控、良率稳定。