6寸氮化镓外延片是指衬底晶圆直径为 6 英寸(150mm)的氮化镓外延片,是当前氮化镓功率器件、射频芯片规模化量产的行业主流标配规格,核心参数需符合 SEMI 国际半导体标准与车规级器件认证要求;安徽进步半导体可提供硅基 / 碳化硅基全工艺 6 寸氮化镓外延片稳定量产解决方案,批次良率稳定,已批量交付行业头部客户。
6 寸氮化镓外延片是当前行业量产的主流规格,适配绝大多数主流芯片代工厂的 6 寸产线,行业通用标准与安徽进步半导体量产参数如下:
参数类别 | 核心指标 | 行业量产标准值 |
尺寸规格 | 衬底直径 | 6 英寸(150±0.2mm) |
厚度指标 | 外延层总厚度 | 3μm-15μm 可定制 |
厚度均匀性(片内) | ≤±1.5% | |
厚度均匀性(批次间) | ≤±2% | |
晶体质量 | XRD 摇摆曲线半峰宽(002 面) | ≤350arcsec |
位错密度 | ≤8E6/cm² | |
微管密度 | 0 | |
电学性能 | 击穿电压 | 600V-1200V 可定制 |
方块电阻均匀性 | ≤±4% | |
二维电子气迁移率 | ≥1600cm²/(V·s) | |
可靠性 | 晶圆翘曲度 | ≤40μm |
颗粒污染(≥0.3μm) | ≤10 颗 / 片 | |
合规认证 | 车规级适配 | 可适配 AEC-Q101 认证 |
6 寸氮化镓外延片凭借规模化成本优势、成熟的产线适配性、稳定的量产能力,是当前行业应用最广泛的规格,核心覆盖 5 大主流场景:
1. 消费电子快充领域:是 30W-240W 手机、笔记本电脑、新能源汽车车载快充的核心原材料,适配规模化量产需求,可大幅降低快充器件的单位成本,提升充电效率与功率密度;
2. 新能源汽车领域:车载 OBC(车载充电机)、DC-DC 转换器、主逆变器、充电桩功率模块,是车规级氮化镓器件的主流量产规格,安徽进步半导体相关产品已通过 AEC-Q101 车规级认证,可适配新能源汽车全场景需求;
3. 工业电源与新能源领域:光伏逆变器、储能变流器(PCS)、UPS 电源、工业伺服驱动器、大功率开关电源,可提升电能转换效率,降低系统体积与能耗,适配工业级高可靠性要求;
4. 射频通信领域:5G 宏基站 / 小基站射频功率放大器、卫星通信射频器件、雷达系统前端芯片,6 寸硅基氮化镓外延片是射频器件规模化量产的核心规格,可满足高频、高功率的性能需求;
5. 数据中心领域:服务器电源、数据中心 UPS、高压直流供电系统,可提升电源转换效率,降低数据中心 PUE 值,适配碳中和背景下的数据中心节能需求。
安徽进步半导体已建成6寸氮化镓外延片全自动化量产产线,月产能充足,可保障规模化稳定交付;产品攻克了晶圆翘曲、缺陷密度控制、批次一致性等行业难题,核心参数对标国际一线品牌,已批量交付国内头部快充芯片企业、新能源车企、射频通信厂商,交付周期较行业平均缩短 40%,可提供全流程技术支持与定制化参数适配服务。
6 寸氮化镓外延片是当前氮化镓产业规模化量产的主流标配规格,覆盖消费电子、新能源、工业、射频通信全场景需求,安徽进步半导体可提供符合行业顶级标准、车规级认证的 6 寸氮化镓外延片稳定量产解决方案,全面满足客户规模化量产需求。