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产品中心

高质量外延片 赋能下一代半导体



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应用领域

创新材料赋能   多远应用场景



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芯片、外延片代加工服务 03
一站式工艺服务平台、助力客户加速产品研发与量产
  • 薄膜沉积与生长服务
    薄膜沉积与生长服务
    ·原子层沉积(ALD):用于高质量氧化物、氮化物薄膜生长。
    ·磁控溅射:用于金属或化合物薄膜的物理气相沉积。
    ·电子束蒸发:用于金属(Ti、Ni、Ag、Al等)蒸发沉积。
    ·等离子增强化学气相沉积(PECVD):用于沉积SiO₂、SiNₓ等介质薄膜。
    ·金属有机化学气相沉积(MOCVD):用于化合物半导体外延生长。
  • 光刻与图形化服务
    光刻与图形化服务
    ·涂胶显影:支持最大8英寸晶圆或6×6英寸基板。
    ·光刻(SUSS光刻机):支持投影式光刻,适用于2英寸至200mm晶圆。
    ·电子束光刻(EBL):支持≤10nm高分辨率图形直写。
    ·等离子体去胶(灰化):用于光刻胶去除。
  • 刻蚀与清洗服务
    刻蚀与清洗服务
    ·反应离子刻蚀(RIE):干法刻蚀,适用于介质材料。
    ·电感耦合等离子刻蚀(ICP):高密度等离子体刻蚀,适用于SiO₂、SiNₓ等。
    ·RCA清洗:标准晶圆清洗工艺。
    ·水清洗、有机超声清洗:适用于4/6英寸晶片。
    ·甩干机:晶片脱水与烘烤。
  • 材料与表面分析服务
    材料与表面分析服务
    ·台阶仪:薄膜厚度与表面形貌测量。
    ·薄膜应力测试仪:测量薄膜应力引起的基板变形。
    ·光学膜厚测量仪:通过光谱反射测量薄膜厚度。
    ·三维光学轮廓仪:表面粗糙度与形貌分析。
    ·原子力显微镜(AFM):纳米级表面形貌与物理性质分析。
    ·高分辨X射线衍射仪(HRXRD):晶体结构、应力、物相分析。
    ·扫描近场光学显微镜与拉曼系统:化学成分、结晶度、形貌分析。
    ·光致发光测试(PL):材料能带与缺陷分析。
    ·透射电子显微镜(TEM):表面形貌与成分分析(需确认是否可用)。
  • 电学与器件测试服务
    电学与器件测试服务
    ·全自动探针台与测试系统:适用于二·半导体参数测试系统:I-V、C-V、脉冲测试等。
    ·功率器件静态参数测试系统:导通电阻、阈值电压、击穿电压等。
    ·动态参数测试系统:开关特性、反向恢复、栅极电荷等。
    ·热特性测试系统:结壳热阻、热容、导热系数等。
    ·变温霍尔测试系统:载流子浓度、迁移率、电阻率测量。
    ·微光显微镜(EMMI):缺陷定位与漏电分析。
  • 后道与封装相关服务
    后道与封装相关服务
    ·晶圆减薄:适用于4/6英寸碳化硅晶圆。
    ·激光划片:高精度晶圆切割。
    ·打标机:晶圆激光标注。
    ·快速退火炉:晶圆退火处理。
    ·石墨承载盘烘烤:用于MOCVD后处理。

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人工钻石产品

采用先进的MOCVD技术,生产高品质s实验室人工培育钻石、金刚石,具有高纯度、高硬度、优异的光学与物理性能,广泛应用于珠宝、光学、切割及高端制造。



高纯度
高硬度
高透光率
可定制

2020

成立核心研发团队


20+

专业设备


500+

企业客户


99%

产品良率


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公司介绍

ABOUT US

  公司依托西电芜湖研究院在第三代半导体、微电子领域的科研积淀,共享院士团队、高端研发设备与中试平台资源,掌握氮化镓外延片核心生长工艺,可定制化生产硅基、蓝宝石基、碳化硅基氮化镓外延片,产品具备高均匀性、高结晶质量、低缺陷密度等优势,适配功率器件、微波射频、新能源电力电子等高端应用场景。

  作为产学研深度融合的孵化企业,进步半导体以技术创新为核心,依托研究院成果转化中试基地支撑,实现氮化镓外延片从实验室研发到产业化落地的高效衔接,严格把控生产全流程品质,为客户提供稳定可靠的氮化镓材料产品与技术支持,助力第三代半导体产业国产化突破与高质量发展



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新闻资讯

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留言咨询

欢迎与我们联系,我们将尽快为您提供专业的服务与支持!



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服务优势

OUR   ADVANTAGES

以客户为中心,提供从产品设计到量产的

全流程支持与服务

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先进工艺
mocvd等多种先进设备保证工艺
品质保证
外延材料技术优秀
关键指标优秀
具备氮化镓外延片及功率器件全参数的测量机极端环境可靠性评估能力
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满足客户多样化定制服务
稳定供货
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