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MOCVD的作用
2025-08-18
MOCVD(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,金属有机化学气相沉积)是一种先进的薄膜制备技术,核心作用是在衬底(如蓝宝石、硅、碳化硅等)表面精准生长出高质量、多层结构的半导体薄膜,为制造各类光电子和微电子器件提供关键材料基础。 其具体作用可通过应用场景进一步明确,核心是解决 “精准控制薄膜成分、结构和性能” 的问题,具体包括: 生长高质量...
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